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2チップ対応レーザテスター

LDtester  YLT7600S

2チップ対応レーザテスター
【概 要】
 2チップ対応レーザーテスターは、各種レーザーダイオードの電気的、光学的特性を自動で測定する装置です。サンプルを手動で試料台にとりつけ後は、測定項目ごとに自動で計測ステージが移動し、各特性の測定データを取得します。
測定データは付属のPCでファイル化され、ユーザーの用途に応じた統計処理が可能です。

2チップ対応レーザテスター


1. テスト仕様

1.1 テスト対象物

被測定物:レーザーダイオード(LD)及び モニター用フォトディテクタ(PD)2チップ対応
品 種:フレームレーザ(1chip)、1.8tフレームレーザ(1,2chip)、3.3Φ(1chip)、5.6Φ(高出力、単一電源、二電源、2chip)
    ※オプションでホログラムレーザ対応

1.2 テスト項目

項 目 測定ステージ 測定内容
1 If-Po特性 I-L 光出力(Po)-順方向電流(If)特性
2 If-Vf特性 I-L 順方向電圧(Vf)-順方向電流(If)特性
3 Po-Im特性 I-L PD電流(Im)-光出力(Po)特性
4 ドループ特性 I-L LDをパルス駆動させた場合の光出力減衰率
5 LD,PD順電流 I-L 光出力に対する順電流
6 LD,PD逆電流*1 I-L 光出力に対する逆電流
7 PD順電圧 I-L 順方向電流に対するPDの順電圧
8 λ特性 λ 放射光のスペクトル
(光スペクトラムアナライザ使用)
9 偏光比特性 偏光比 偏光の平行ベクトルと垂直ベクトルの比率

 *1 LD,PD逆電流測定(微少電流測定)はオプション対応となります。


2 測定回路システム構成


1)LD・PD 駆動回路



試料ステージに付属し、LD、PDに電流、電圧をCW、パルスにて印加するユニット

1-1 電流駆動回路(LDのみ)
パルス幅 500 ~2000μsの範囲、100 μs単位で設定(ドループ測定)
レンジ2段階 -300 ~ +300mA  精度 ±1% of reading 5 digit
  -600 ~ +600mA  精度 ±1% of reading 5 digit
調整段階 ±300000 (±15bit)
印可電圧 MAX10.0V(at600mA時)
0設定でOpen、(-)設定で負電流回路、(+)設定で正電流回路に電気的にスイッチ
パルス発生時 Droop測定用 timing信号発生

1-2 電圧印加回路( LD, PD双方)
レンジ -40 ~ +40 V 精度 ±2% of reading 5 digit
調整段階 ±200000 (±15bit)
0設定でGND、(-)設定で負電圧回路、(+)設定で正電圧回路に電気的にスイッチ

1-3 電流印加回路( PDのみ)



レンジ -2000 ~ +2000 uA
調整段階 ±200000 (±15bit)
0設定でOpen、(-)設定で負電流回路、(+)設定で正電流回路に電気的にスイッチ


2)LD・PD測定回路



試料ステージに付属、LD、PDの電圧・電流測定を行うユニット。


2-1 電流測定回路 (LD、PDとも)



レンジ2段階
-200 ~ 200uA 精度 ±1% of reading 5 digit
-2000 ~ 2000 uA 精度 ±1% of reading 5 digit
16bit AD 使用
±を感知して、正測定、負測定を電気的にスイッチ


2-2 極微小電流測定回路 (LD、PDとも)



レンジ
-200nA ~ +200 nA
16bit AD 使用
センサーの直近に配置し、絶縁基板使用・回路部分全体にシールドを施す。
±を感知して、正測定、負測定をリレーで切り替え


2-3 電圧測定回路 (LD、PDとも)
レンジ2段階 -10 ~ +10 V  精度 ±1% of reading 5 digit
  -40 ~ +40 V 精度 ±1% of reading 5 digit
  16bit AD 使用
±を感知して、正測定、負測定を電気的にスイッチ




3)光センサー回路

FFP-H、FFP-V、偏光比、I-Lの4系統の光センサーの信号を入力、光の強度を計測するユニット。

センサー   浜松ホトニクス製 SiPINフォトダイオード S2744
レンジ2段階 0 ~ 30mW 精度 ±1% of 5 digit  (電気的精度)
       0 ~ 300mW 精度 ±1% of 5 digit  (電気的精度)
       12 bit AD 使用
測定系全体の精度は、繰り返し測定の精度が±1%、光強度の精度が±5%


4)光スペクトラムアナライザ
光ファイバーにてLDから受光、光波長特性を計測する。
アドバンテスト社製 Q8341または相当品を使用予定
コヒーレンス測定分解能: 0.001mm
波長分解能(@650nm): 0.05nm(標準)
ピーク波長読取り分解能: 0.001nm 波長測定確度: ±0.05nm(標準)
コヒーレンス測定距離: 最大約10mm(標準)

5)温度制御回路

試料ステージに付属、ペルチェ素子による試料温度制御を行うユニット。
設定範囲  +20 ~100 ℃
設定単位  0.1℃
制御精度  ±2℃


6)CPU-I/F回路

RS485、またはGP-IBの信号より命令をデコード、各回路基板にシリアルで命令を転送するユニット。

3. 測定仕様

3.1 I-Lステージ 測定項目

No 記号 項目名 単位
IfLD1,2 LD1, LD2順電流 μA
LDleak LD1 , LD2チップ間リーク μA
IfPD PD順電流 μA
Vnr1_1,2 LD1, LD2 負性抵抗落ち込み最大電圧 V
Vnr2_1,2 LD1, LD2 負性抵抗 ⊿V/⊿i Ω
Vim1 指定電流時PD順電圧 V
Vim2 指定電流2点間のPD順電圧差 V
RdPo_1,2 LD1, LD2 2点パワー指定微分抵抗 Ω
RdI_1,2 LD1, LD2 2点電流指定微分抵抗 Ω
10 Iop1,2 LD1, LD2 指定光出力時のLD動作電流 mA
11 Vop1,2 LD1, LD2指定光出力時のLD動作電圧 V
12 Imop1,2 LD1, LD2 指定光出力時のPD電流 Ma
13 Ith1,2 LD1, LD2 閾値電流 mA
14 Pth1,2 LD1, LD2 Ith時の光出力 mW
15 Vth1,2 LD1, LD2 Ith時の電圧 V
16 Eta1,2 LD1, LD2 微分量子効率 W/A
17 LKink1,2 LD1, LD2 キンク率 %
18 Pmax1,2 LD1, LD2 最大パワー mW
19 Imax1,2 LD1, LD2 最大パワー時の電流値 mA
20 mKink1,2 LD1, LD2 電流カーブの相関係数 -
21 LDIr1,2 LD1, LD2 逆電流 μA
22 Idark PD逆電流 nA
23 Droop1,2 LD1, LD2 ドループ %

3.2 FFPステージ 測定項目


No 記号 項目名 単位
Thv1,2 LD1,LD2指定光出力時の半値全角 垂直方向(Gauss, Smooth) deg
Thh1,2 LD1,LD2指定光出力時の半値全角 水平方向(Gauss, Smooth) deg
Phv1,2 LD1,LD2指定光出力時の光軸ずれ 垂直方向(Gauss, Smooth) deg
Phv1,2 LD1,LD2指定光出力時の光軸ずれ 水平方向(Gauss, Smooth) deg
Rpv1,2 LD1,LD2 指定光出力時リップル 垂直 deg
Rph1,2 LD1,LD2 指定光出力時リップル 水平 deg
Rmv LD1,LD2 リム 垂直 deg
Rmh LD1,LD2 リム 水平 deg

3.3 λステージ 測定項目


No 記号 項目名 単位
Lp1,2 LD1,LD2 指定光出力時 ピーク波長 nm
WLp1,2 LD1,LD2 指定光出力時 波長幅 nm
GamP1,2 LD1,LD2 指定光出力時 第1ピークと第2ピークの比 -
Beta1,2 LD1,LD2 指定光出力時 第1ピークと第2ピークの比 -

3.4 偏光比ステージ 測定項目


No 記号 項目名 単位
Pol1,2 LD1,LD2 指定光出力時 最小偏光ずれ角 deg
Poh1,2 LD1,LD2 指定光出力時 最大偏光ずれ角 deg
PhPIP1,2 LD1,LD2 指定光出力時 最大偏光値と最小偏光値の比 -
PI1,2 LD1,LD2 指定光出力時 最小偏光パワー mW
PrvhP1,2 LD1,LD2 指定光出力時 90°偏光値と180°偏光値の比 -
Poh1,2 LD1,LD2 指定光出力時 最大偏光ずれ角 deg


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