2 測定回路システム構成

１）LD・PD 駆動回路

試料ステージに付属し、LD、PDに電流、電圧をCW、パルスにて印加するユニット

1-1 電流駆動回路（LDのみ）

パルス幅

500 ～2000μsの範囲、100 μs単位で設定（ドループ測定）

レンジ２段階

-300 ~ +300mA　　精度 ±1% of reading 5 digit
-600 ~ +600mA　　精度 ±1% of reading 5 digit

調整段階

±300000 (±15bit)

印可電圧

MAX10.0V(at600mA時)

0設定でOpen、(-)設定で負電流回路、(+)設定で正電流回路に電気的にスイッチ

パルス発生時 Droop測定用 timing信号発生

1-2 電圧印加回路( LD, PD双方)

レンジ

-40 ～ +40 V 精度 ±2% of reading 5 digit

調整段階

±200000 (±15bit)

0設定でGND、(-)設定で負電圧回路、(+)設定で正電圧回路に電気的にスイッチ

1-3 電流印加回路( PDのみ)

レンジ

-2000 ～ +2000 uA

調整段階

±200000 (±15bit)

0設定でOpen、(-)設定で負電流回路、(+)設定で正電流回路に電気的にスイッチ

２）LD・PD測定回路

試料ステージに付属、LD、PDの電圧・電流測定を行うユニット。

2-1 電流測定回路　（LD、PDとも）

レンジ２段階

-200 ~ 200uA 精度 ±1% of reading 5 digit
-2000 ~ 2000 uA 精度 ±1% of reading 5 digit
16bit AD 使用

±を感知して、正測定、負測定を電気的にスイッチ

2-2 極微小電流測定回路　（LD、PDとも）

レンジ

-200nA ～ +200 nA
16bit AD 使用

センサーの直近に配置し、絶縁基板使用・回路部分全体にシールドを施す。
±を感知して、正測定、負測定をリレーで切り替え

2-3 電圧測定回路　（LD、PDとも）

レンジ２段階

-10 ～ +10 V　　精度 ±1% of reading 5 digit
-40 ～ +40 V 精度 ±1% of reading 5 digit
16bit AD 使用

±を感知して、正測定、負測定を電気的にスイッチ

３）光センサー回路

FFP-H、FFP-V、偏光比、I-Lの４系統の光センサーの信号を入力、光の強度を計測するユニット。

センサー

浜松ホトニクス製　SiPINフォトダイオード　S2744

レンジ２段階

0 ～ 30ｍW　精度 ±1% of 5 digit 　(電気的精度)
　　　　　　 0 ～ 300mW 精度 ±1% of 5 digit 　(電気的精度)
　　　　　　 12 bit AD 使用

測定系全体の精度は、繰り返し測定の精度が±1%、光強度の精度が±5%

４）光スペクトラムアナライザ

光ファイバーにてLDから受光、光波長特性を計測する。
アドバンテスト社製　Q8341または相当品を使用予定

コヒーレンス測定分解能：

0.001mm

波長分解能（@650nm）：

0.05nm（標準）

ピーク波長読取り分解能：

0.001nm

波長測定確度：

±0.05nm（標準）

コヒーレンス測定距離：

最大約10mm（標準）

５）温度制御回路

試料ステージに付属、ペルチェ素子による試料温度制御を行うユニット。

設定範囲

+20 ～100 ℃

設定単位

0.1℃

制御精度

±2℃

６）CPU-I/F回路

RS485、またはGP-IBの信号より命令をデコード、各回路基板にシリアルで命令を転送するユニット。