• サイクルタイム: 290m second
• チップ整列精度(X-Y): 30μm
• チップ整列精度 (θ) : ±3°
• 装置外形 : 1100(L) X 1150(W) X 1700(H)mm

３. 装置構成

• ピックアップ部
  　ダイレクトドライブモータ駆動（回転）
  　ＡＣサーボモータ（上下）
  　吸着確認：真空センサー
  　吸着不良：エアーブロー排出
• 供給ウエハーテーブル部
  　全自動Ｘ-Ｙ位置決め
  　テーブル回転可能角度：360°
• 画像処理部(2カメラ)
  　全自動Ｘ-Ｙ・θ位置決め
  　チップ検査：外形 (ワレ、欠け)・二重チップ
  　チップ位置許容値：チップサイズの最大50%
  　　　　　　　　　：θ最大±15°
• 収納部
  　標準分類数：8ビンブロック
  　オプション：24ビンブロック
• 表示部
  　ウエハーマッピング表示
  　分類表示
  　画像処理表示
  　タッチパネル付きLCD

４. オプション

• ウエハーＩＤ用バーコードリーダー
• ホストＰＣネットワーク（マッピングデータ読み込み）
• プリンター
• バキュームポンプ（20リッタ/分）